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第二百七十五章 检验(2/3)

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掌握了0.5微米工艺,答案就在这一刻了。

“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术,大家此时此刻可以拭目以待了!这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”

周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。

只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆,心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。

问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了小算盘,按照国内的传统,说不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。

不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。

和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。

当然,以蜂巢实验室里面的设备,有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。

至少在1995年的集成电路制造水平,0.5微米的线宽,一部光学显微镜就已经足够、足够。

赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼,微微叹了口气。他站出来,自报奋勇道:“周先生,我来对这张晶圆进行测量,没有问题吧?”

周硕呵呵笑着,将晶圆郑重的交到赵院长手里,点头说道:“能够有赵院长亲手测量,这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位,没有第二个人比赵院长更有公信力了。”

赵院长小心的将晶圆接了过来,摇头道:“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去?要按照我的说法,你至少应该在我们所有人的面前,再放一张晶圆进去。”

他顿了一顿,嗤之以鼻道:“前些年社会上还流行过水变油的闹剧,搞起这种夸张的科学技术来,向来是魔术师比科学家有本事。”

周硕似笑非笑的看着赵院长,摇头说道:“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的,赵院长一看便知。”

赵院长不置可否,他呛上这两句语气说是质疑,不如说是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的,对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何,他心里清楚。即使生活再怎么艰难,但学术造假肯定不会落到他的头上。

赵院长四下找了一圈,很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜,最大观测分辨率可以达到0.1微米水平。用来观测0.5微米线宽的集成电路,可以说是轻而易举。

他熟练的操作着实验仪器,很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去,却不想竟然惊讶的喊了出来!

“啊!”赵院长竟然从实验台前倒退了半步,那样子就如同见到了鬼一般。

赵院长很快就意识到了自己的失态,却来得及没有对众人做出丝毫说明,便又急匆匆的一头扑向了显微镜。

足足过了十多分钟,他才从显微镜前抬起头来,喃喃自语道:“竟然是真的,竟然是真的……”

“赵老,什么真的、假的?你看到了什么?”赵院长身边,一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。

“确实是0.5微米线宽!”赵院长有些苦涩,却又有些自豪的说道。

是的,他虽然输了打赌,但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹,是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家,
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